اساس کار میکروسکوپ عبور الکترونی:
برخورد الکترون با ماده شامل سازو کارهای مختلفی میباشد که از مهمترین آنها میتوان به برخورد وتولیدالکترون ثانویه پس پراکندگیو پیش پراکندگی تولید اشعه x و الکترون اوژه اشاره
کرد. با توجه به سازوکارهای موجود تحلیل نتایج هر یک از این ساز وکار ها داده هایی را در مورد
شکل واندازه ،ساختار وترکیب شیمیایی ماده به دست میدهد .ابتدا نحوه اندرکنش الکترون _
ماده و تصویر برداری میکروسکوپ عبور الکترونی را بررسی کرده وسپس به سایر روشها مورد استفاده از جمله پراش الکترون وEDS می پردازیم .
بر هم کنش الکترون با اتم وتفنگ الکترونی :
پرتو الکترونی به روشهای مختلفی تولید می شودکه ار مهمترین آنها میتوان به گسیل ترمویونبک (Thermoionic Emission) وگسیل میدانی اشاره کرد.برای گسیل ترمویونیک به طور معمول ازیک المان داغ استفاده می کنند که تا دمای حدود2800 درجه کلوین گرم میشود ،جنس المان اغلب از تنگستن یا6LaB است.مجموعه المان را نسبت به شبکه های شتاب دهندهدر پتانسیل منفی نگه می دارند و الکترونهای تولید شده در اثر پدیده تر مویونیک در پتانسیل بالا شتاب گرفته و انرژی بالایی کسب میکنند.