دانلود تحقیق و مقاله و پروژه دانشجویی و دانش آموزی در مورد میکروماشینینگ

پهنای باند، سطح نویز، حساسیت محوری، drift، خطی بودن، محدوده دینامیک، قابلیت ابقا شوک و مصرف توان می باشد. فرکانس رزونانس نیز مهم است زیرا محدوده مفید فرکانس بالای سنسور معمولاً کسری از فرکانس رزونانس است، در حالی که حساسیت و جابجایی به ازای هر g شتاب را تعیین می کند. به طوری که : dg : جابجایی به ازای هر g M و Ksp: جرم و ثابت فنر قطعه g : 9.8 Wo : فرکانس رزونانس زاویه ای عموماً ...

معمولاً بوسیله رقیق کردن یا Buffer کردن HF انجام می شود. حکاکی های PSG 10 بار سریع تر از اکسید رشد یافته حرارتی می باشد. حکاکی Anisotropic در مورد Si با استفاده از حکاکی پلاسما به کمک یون در ترکیبی از C2 F6 و CH3F انجام می شود. قابلیت انتخاب روی Si خوب است، امّا روی Si3N4 خوب نیست . حکاکی لایه نازک Si3N4 حکاکی کننده تر در دمای H3PO4,140 – 200OC می باشد. SiO2 حاصل از لایه نشانی ...